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      產(chǎn)品展示為客戶提供有競爭力、安全可信賴的產(chǎn)品、解決方案和服務

      1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

      CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80
      此CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。 優(yōu)點 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上
      自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
      自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性…… 安全性 過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。
      采用單向閥技術,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。
      ……
      ■ 產(chǎn)品特點

      提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境

      此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

      產(chǎn)品性能:

      1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

      2、空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

      3、啟動電爐,排溫風機同時自動運行,試驗結束后,排溫風機將繼續(xù)運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風機自行停止,有效保護了爐體表面

      4、自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

      5、電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

      6、加熱模塊采用直流信號調節(jié)輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾

      7、自動補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響,避免人為調節(jié)的不準確性和危險性

      8、采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復性好,相應速度快,穩(wěn)定等特點。(氣體質量流量控制系統(tǒng))

      9、自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。(中真空控制系統(tǒng))

      10電磁閥緩啟動技術,使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使爐管內系統(tǒng)壓力保持準確,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果(中真空控制系統(tǒng))

      安全性:

      1、過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。

      2、采用單向閥技術,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。

      3、采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會泄露。


      ■ 技術參數(shù)
      型號單溫區(qū)CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

      單溫區(qū)CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
      性能使用溫度范圍300~1400
      溫度分辨率1℃
      控溫± 1
      升溫速率0~20℃/min
      加熱區(qū)長度200mm400mm
      恒溫區(qū)長度70mm140mm
      真空度-0.1MPa
      空爐升溫時間15min

      配置爐管時升溫速度500℃以下≤5/min;500-100010/min1000-12005/min;1000-14002/min
      構成外裝冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
      爐膛體多晶莫來石纖維
      爐膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
      爐管剛玉管
      爐管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
      加熱器硅碳棒
      加熱功率3KW5KW
      斷熱層雙層強制風導流
      打開方式
      控制 器控制器P:進口程序控溫數(shù)碼顯示;   T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
      控制方式使用微型電腦PID控制
      設定方式P:輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設定;   T:手指觸摸輕點設定
      顯示方式P:雙行LED數(shù)字顯示;   T:彩色液晶屏顯示
      定時0~999.9小時
      運行功能定值運行、程序運行
      程序模式P:程序運行、4條曲線、共40步;    T:50步 可調用儲存程序
      傳感器S型熱電偶
      附屬功能P:校正功能;     T:校正功能、實時曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導出
      安全裝置過流漏電保護開關
      質量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
      流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
      精度±1%F.S
      響應時間≤4s
      工作溫度(流量計)5-45
      工作壓力進氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
      系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
      中真空控制系統(tǒng)系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
      真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw
      CVD系統(tǒng)配置1400度真空管式爐       多路質量流量控制系統(tǒng)        真空系統(tǒng)


      上一個:1200℃開啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)下一個:1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)
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